500pa微压传感器的研制

摘要

该文在对压阻式扩散硅微压传感器的设计、制作等方面进行了研究，并考虑了微压传感器灵敏度、非线性、稳定性和过载能力等方面的相互矛盾和存在问题，在PT-24的版图基础上，对版图设计和工艺技术作了改进，成功地制作高灵敏度压力传感器。样品灵敏度≥30mV/5V/0.5kpa，非线性≤±1FS，过载能力≥100倍满量程。