BADMoS<,2>-Ag复合膜的氧化行为研究

摘要

用XPS分别检测了在相对湿度60-75％的室温环境存放60天和100％湿度环境存放45天以及在435℃高温加热1小时的离子束辅助沉积MoS<,2>-Ag复合膜中Mo与S元素的化学态。