分子离子束引起固体表面的非线性效应

摘要

通过对溅射原子角分布的测量，研究分子离子束轰击固体表面时引起表面原子溅射的非线性效应。分子离子(FeCl<'+>和CuCl<'+>)以及相应的组分原子离子(Fe<'+>和，Cu<'+>和Cl<'+>)以每单位质量相同的能量分别轰击金属Ag和Au的表面。庐瑟夫背散射(RBS)被用来测量溅射率，扫描电子镜(SEM)被用来观察离子轰击后固体表面形貌的改变。在所有情况下，发现分子离子束轰击引起的溅射率高于相应的组分原子离子产生的溅射率的和。文中还论了溅射率增强的机制。