集成电路直径100-150mm芯片的工艺诱生缺陷

摘要

研究人员调研了上海的直径１００－１５０ｍｍ三条集成电路（ＩＣ）生产线上ＩＣ芯片的工艺诱生缺陷。研究表明这些ＩＣ生产线上存在三种主要诱生缺陷，ＩＣ与离子注入，薄膜应力和高浓度替位杂质的收缩应力有关。