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电子束影响探针焦点位置的实验研究

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摘要

使用扫描电子显微镜进行实验,旨在发现电子束原始交叉斑位置和经过会聚透镜后的电子束流强弱对探针焦点位置产生影响,所得结果有利于使用物镜电流与焦距的关系确定用能谱仪作定量分析时所需的接收角.

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来源
《中国自动化学会、中国仪器仪表学会西南三省一市2000年学术年会》|2000年|115-115117|共2页
会议地点成都
作者
戴宏; 梁浩雁; 杨宇;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国自动化学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类成分分析仪器;
关键词
电子探针; 微分析; 能谱仪; 接收角; 扫描电子显微镜; X射线能谱分析;

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