高阈值反射腔镜的研制

摘要

采用水中抛光技术抛制了200×200×40mm<'3>的K9玻璃基片，表面粗糙度达1nm。在APS1504镀膜机上，摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件，较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了波长1054nm片，入射角0°的反向膜，反射率R≥99.5℅，膜层的抗激光损伤阈值可达24J/cm<'2>(1054nm,1ns)，镀膜后该玻璃基片反射波前可达0.17λ(p-v)，最终制备了符合“神光Ⅲ”设计指标的高阈值反向腔镜(cavity mirror)。