声明
第1章 绪 论
1.1 课题研究背景及意义
1.2 国内外研究现状
1.3 论文研究的主要目的和主要内容
第2章 高反射腔镜的基片制备
2.1 技术要求
2.2 材料去除机理
2.3 高反射腔镜基片平面加工
2.4 高反射腔镜基片非球面加工
2.5 本章小结
第3章 高反射腔镜的膜系设计
3.1 技术要求
3.2 光学薄膜设计理论
3.3 薄膜材料研究
3.4 膜系结构设计
3.5 膜系设计中出现的问题与解决方案
3.6 本章小结
第4章 高反射腔镜的薄膜制备
4.1 薄膜材料工艺参数研究
4.2 离子辅助沉积技术研究
4.3 退火工艺研究
4.4 高反射腔镜的薄膜制备工艺流程
4.5 本章小结
第5章 测试结果与分析
5.1 光谱测试与误差分析
5.2 误差拟合模型的建立与工艺优化
5.3 环境测试
5.4 抗激光损伤能力测试
5.5 测试分析中出现的问题与解决方案
5.6 本章小结
第6章 总结与展望
6.1 主要工作总结
6.2 创新点说明
6.3 不足与展望
参考文献
攻读硕士学位期间的学术成果和参与科研情况
致谢
