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巨磁电阻材料及其在微机械真空传感器的应用探讨

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本文介绍了新型高灵敏度磁敏感材料-巨磁电阻材料,指出巨磁电阻材料具有灵敏度高、制作工艺简单、尺寸小、抗辐照等优点,采用合适过渡层后可获得更高的灵敏度.在此基础上,文章分析了巨磁电阻磁敏器件的工作原理,并对巨磁电阻磁传感器在微机械真空传感器方面的应用进行了讨论.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|307-309|共3页
会议地点上海
作者
李铁; 熊斌; 王跃林;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
巨磁电阻材料; 磁敏器件; 微机械真空传感器;

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