一种新颖的硅浮栅驻极体微麦克风

摘要

本文提出一种新颖的硅浮栅驻极体微麦克风.驻极体由周围被高质量绝缘层所隔离的浮栅电极和里面的净电荷形成,净电荷是P<'+>N结雪崩击穿所产生的热电子注入效应提供的,其工作温度可高达300°C.同时,由于驻极体可重复充电,大大提高了麦克风的工作寿命.该麦克风的制备工艺也完全与IC工艺兼容,具有声学系统集成的应用前景.