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电阻电热式微推进器的设计

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近几年来,随着航天领域微型化技术的发展,用于微型推进系统的微推进器的研究越来越受到重视.本文介绍了一种微推进器的设计及相关理论研究.该微推进器集成了微型主动阀/泵及压力传感器,采用电阻电热方式工作,利用硅微加工工艺制作.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|134-136|共3页
会议地点上海
作者
唐飞; 叶雄英; 周兆英;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类设计;
关键词
微推进器; MEMS; 微喷管;

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