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微机电系统的技术发展及产业化问题

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本文概述了微型机电系统的发展与技术特点,产业化、国防应用和基础研究的问题,以及我国微型机电系统的现状.国际上微型机电系统技术刚刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好时机.

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来源
《中国兵工学会第10届测试技术研讨会》|2000年|501-508|共8页
会议地点合肥
作者
周兆英; 王广龙; 叶雄英; 王晓浩; 刘卫丹; 李莎;
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作者单位

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类机电一体化;
关键词
微型机电系统; 产业化; 微型机械; 微制造技术; 机电一体;
入库时间 2022-08-17 10:25:49

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