椭偏光学显微成像系统自动调焦的研究

摘要

椭偏光学显微成像是九十年代发展起来的一种新型的超薄膜及表面测量技术.该技术为薄膜材料分析和功能生物膜研究提供了一种新的手段,它在生物分子药物筛选、临床医学诊断等方面有期望获得广泛的应用.本文针对椭偏光学显微成像系统的特点,提出了一种适用于该系统的三步自动调焦法,即利用调焦评价函数通过三个步骤来实现系统的自动调焦.实验结果表明,以三步自动调焦法使成像系统在最佳聚焦位置获得唯一的最大值为判据,迅速准确地获得最佳聚焦.此方法具有调焦速度快和重复精度高的特点.