硅微/纳米结构及其在太阳能电池中的应用

摘要

作为太阳能电池中一种重要的材料,硅微/纳米结构具有独特的光学、电学性能,在新型太阳能电池设计中有很大的应用优势,如作为减反射材料、光吸收材料、电荷传输材料等;同时硅微/纳米结构也为新型太阳能电池,如径向异质结太阳能电池等,提供了设计与构建的主体材料.此外,硅微/纳米结构具有潜在的柔性优势,为高效率硅基柔性太阳能电池的制备与应用提供了可能.本文对微/纳米结构及微米一纳米复合结构的设计与制备开展了研究。利用金属Ag辅助催化刻蚀的方法，研究了硅微/纳米结构的制备以及在硅微/纳米结构的表面制备纳米结构的方法与原理，提出了利用一步法刻蚀多孔硅纳米线、无掩膜法刻蚀纳米线/微米柱新型复合结构以及金属纳米粒子等离激元辅助刻蚀硅漏斗状纳米结构的方法，并深入研究了硅微/纳米结构的形成机理。