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声表面波驱动的微型马达研究

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本文是声表面波驱动的微型马达的实验研究以及工作原理的理论分析,并进一步指出该马达小型化的可能性及遇到的问题.

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来源
《中国声学学会2001青年学术会议》|2001年|219-221|共3页
会议地点上海
作者
程利平; 张广明; 张淑仪; 郁炯; 水修基;
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作者单位

中国声学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光电机（光马达）;超声的应用;
关键词
超声马达; 声表面波驱动; 工作机理; 马达结构;

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