半导体厂洁净空调换气节能技术之研究

摘要

由于地球温室效应来势凶凶,廿一世纪将是节能减发世代,半导体厂是主要电能用户,半导体洁净空调必须引入大量外气来满足大量制程排气与洁净室坚之维护,外气空调箱(MAU)之实质电能消耗量占半导体晶圆厂总电力需求之20℅左右;因此,MAU是半导体晶圆厂最大之耗能设备,MAU之节能封节即减废具立竿见影响之效.为了减缓地球之温室效应,高科技产生之发展又不能停滞,与其持续共建电厂,不如积极落实节约能源,减少电力之消耗.本研究针对MAU之能源使用现况,提出有关MAU可能共可行节能方式,内容包括:以热交换盘管回收排气之冷能、以热交换管或热管对MAU冷却除湿管前后进行热交换、双冰水温度系统在MAU之应用、MAU串联冰水管路之应用、鼓风式与抽风式MAU之耗能比较、风车最佳运转点之选定、冷却除湿回温再冷却除湿之相互能源耗损、冷却除湿管冷凝水再蒸发之防止、化学除湿与冷却除湿耗能之比较、降低冬季加湿预热温度之要领、充分利用热回收冰水主机之要领、提高气状污染物移除效率之要领、空气洗涤器兼加湿之限制、减少洁净空气泄漏之要领、及减少洁净空气释放之要领.