首页> 中文会议>中国仪器仪表学会第三届青年学术会议 >微硅隧道加速度变送器的优化设计

微硅隧道加速度变送器的优化设计

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器,其参数经有限元分析优化,并采用了平头隧道电极,变送器的控制采用“力平衡”方式.设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行,无需进行后续组装.

著录项

来源
《中国仪器仪表学会第三届青年学术会议》|2001年|193-194201|共3页
会议地点沈阳
作者
龙志峰; 韩荔; 李庆祥; 白立芬;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类变换器;
关键词
隧道; 加速度变送器; 表面工艺;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 微硅隧道加速度变送器的优化设计 [J] . 龙志峰 ,韩荔 ,李庆祥 . 仪器仪表学报 . 2001,第z2期
2. 硅微隧道式加速度计的输出反馈控制电路设计 [J] . 王玲 ,石云波 ,唐豫桂 . 中国惯性技术学报 . 2008,第003期
3. 微硅隧道加速度传感器设计 [J] . 陈德英 ,茅盘松 ,史建伟 . 固体电子学研究与进展 . 2000,第4期
4. 微杠杆在硅微谐振式加速度计中的应用 [J] . 石然 ,姜劭栋 ,裘安萍 . 光学精密工程 . 2011,第004期
5. 硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计 [J] . 裘安萍 ,苏岩 ,施芹 . 传感技术学报 . 2006,第005期
6. 一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路的设计 [C] . 沈三民 ,张文栋 ,刘俊 . 中国兵工学会第十二届测试技术学术年会 . 2004
7. 硅微谐振式加速度计温度耦合非线性问题研究与敏感结构的优化设计 [A] . 张晶 . 2018

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号