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微机电系统(MEMS)技术及其动态

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系统阐述微机电系统及微机电系统技术的加工工艺、测试技术、研究课题、应用前景.最后就微机电系统与技术的发展前景及其国内外发展的动态进行展望.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|34-37|共4页
会议地点重庆
作者
许高攀; 陈广文; 胡国清;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
微机电系统(MEMS)技术; 微机械; 加工工艺; 测试技术; 能束加工; 纳米技术;

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