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薄膜平面射频集成电感器的FFT模拟

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用快速傅立叶变换法(FFT)和磁镜像法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了微磁学分析.根据模拟结果,对射频集成电感器的结构参数和加工参数进行了优化.这种模拟方法同样适用于永磁执行器的受力分析和电磁型微马达的优化分析.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|272-274|共3页
会议地点重庆
作者
向三名; 章吉良; 张明生;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;微波混合集成电路（微波集成电路）;
关键词
集成电感器; 快速傅立叶变换法(FFT); 磁镜像法; 单片微波集成电路(MMIC);

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