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全玻璃平板型真空荧光光源的工艺制作

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本文论述了产生真空荧光光源VFLS的时代背景,介绍了采用低压荧光粉的前发光型全玻璃简单平板二极管VFLS的结构与工艺,目前存在的问题及前景.

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来源
《第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议》|2001年|20-25|共6页
会议地点西安
作者
刘光诒; 夏善红; 吕永积; 陈绍凤; 李宏彦; 韩昊; 王建英;
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作者单位

中国电子学会;

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类结构和元部件;显示器件;
关键词
真空微电子学; 真空荧光光源; 前发光型; 平板型全玻璃; 荧光材料;
入库时间 2022-08-17 10:21:26

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