首页> 中文会议>第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议 >类金刚石薄膜阴极阵列及样管的制备

类金刚石薄膜阴极阵列及样管的制备

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

真空磁过滤弧沉积(FAD)的方法制备的类金刚石(DLC)薄膜具有良好的场发射性能.通过离子束技术和微细加工技术可以实现DLC薄膜的图形化并能大大提高薄膜的场发射性能.我们利用图形化的DLC薄膜作为阴极用于直接封装场发射显示器(FED)样管,并获得了成功.

著录项

来源
《第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议》|2001年|51-54|共4页
会议地点西安
作者
冯涛; 茅东升; 李炜; 张福民; 柳襄怀; 王曦; 李琼; 徐静芳; 诸玉坤;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

中国真空学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类场致发射、场致发射阴极;
关键词
场发射; 类金刚石薄膜; 场发射显示器; 阴极材料; 真空磁过滤弧沉积;
入库时间 2022-08-17 10:21:26

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 类金刚石薄膜作为阴极阵列的场发射显示器研制 [J] . 冯涛 ,茅东升 ,李炜 . 功能材料与器件学报 . 2002,第3期
2. 脉冲磁过滤阴极弧技术制备类金刚石薄膜研究 [J] . 顿丹丹 . 新技术新工艺 . 2012,第009期
3. 采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究 [J] . 张旭 ,王耀辉 ,吴先映 . 核技术 . 2007,第012期
4. GaAs纳米线阵列光阴极的制备及其特性研究 [J] . 曾梦丝 ,彭新村 . 光学仪器 . 2018,第001期
5. 场发射冷阴极微栅孔阵列制备技术 [J] . 赵兴海 ,施志贵 ,向伟 . 强激光与粒子束 . 2013,第006期
6. 场发射类金刚石薄膜阴极阵列的制备及样管的研制 [C] . 冯涛 ,茅东升 ,李炜 . 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会 . 2001
7. 类金刚石薄膜/碳纳米管阵列复合材料的制备及其抗冲击性能研究 [A] . 占智远 . 2018

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号