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环境扫描电子显微镜中的电子传输

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环境扫描电镜现在成为在气体环境中检测样品表面的一种有力手段,由于ESEM的加连电压相对较低,而电子要从高真空区域,经过压差光阑和低真空区域,才能达到样品表面.本文分析了在设计中电子传输的良好条件.

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来源
《第二届全国扫描电子显微学术会议》|2001年|287-288|共2页
会议地点包头
作者
李春艳; 杜海燕; 董向红; 王惠; 姚琲;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子光学仪器;
关键词
环境扫描电镜; 电子传输; 气体环境检测;

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