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团簇粒子源及其应用

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粒子与固体相互作用,包括团簇粒子,现有的团族源类型有溅射和蒸发产生团簇两类,它们引出了多种纳米量级的团簇.如果采用交流磁控溅射,可产生绝缘材料的团簇,用蒸发方法可产生金属、半导体团簇.

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来源
《'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议》|2001年|36-40|共5页
会议地点海口
作者
赵子强;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类溅射;
关键词
团簇粒子源; 溅射; 半导体材料;

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