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阴极真实弧沉积中第二阳极现象研究

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介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显.因此可以加较高的聚焦磁场,从而获得流强较高和较稳定的沉积离子束.

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来源
《'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议》|2001年|24-27|共4页
会议地点海口
作者
王广甫; 张荟星;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类产生;
关键词
真空弧沉积; 阳极接地; 阴极接地; 等离子体源;

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