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磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究

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利用一台磁过滤真空弧沉积装置,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响.实验证明,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用,还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响.给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电路,并用此电路对磁过滤阴极真空弧放电中的部分实验现象进行了解释.

著录项

来源
《核技术》|2001年第10期|842-847|共6页
作者
王广甫; 张荟星;
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作者单位

北京师范大学低能核物理研究所;

北京师范大学分析测试中心;

北京师范大学低能核物理研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TL657;
关键词
磁过滤管道; 阴极真空弧; 第二阳极作用; 等效电路;

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