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椭偏测量技术在碲镉汞液相外延材料上的应用

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摘要

本文采用椭圆偏振技术,对液相外延(LPE)生长的碲镉汞薄膜材料的组分及其组分的纵向分布进行了测量和研究.结果发现经P型热处理后的外延材料存在组分较低的表面层;去除表面效应和界面处组分互扩散的影响,薄膜材料的组分纵向分布具有很好的均匀性,其组分分布的均方差小于0.005.

著录项

来源
《第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会》|2001年|134-136|共3页
会议地点宁波
作者
徐庆庆; 陈新强; 魏彦峰; 杜美蓉; 巫艳; 杨建荣; 何力;
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作者单位

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
椭偏光谱测量技术; 液相外延; 碲镉汞;

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