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江炳尧; 郑志宏; 张福民; 杨石奇; 王曦;
中国电子学会;
等离子体; 离子注入; SOI; PIC; 脉冲波形; 能量分布;
机译:用双极脉冲进行等离子体浸没离子注入和沉积的等离子体的计算机模拟
机译:直流等离子体浸没离子注入技术的进展以及等离子体浸没离子注入和沉积技术的最新应用
机译:阴极加氢对离子注入,辉光放电和等离子体浸没离子注入氮化的AISI 304不锈钢力学性能的影响
机译:由甲烷等离子体的等离子体浸没离子注入等离子体浸渍离子植入形成的SiC_x:H膜的组成和结构
机译:通过等离子体注入氧气和等离子体浸没离子注入进行分离,以形成绝缘体上硅。
机译:使用等离子体浸没离子注入和沉积对生物材料进行表面改性
机译:一种新型等离子体浸没离子注入机控制与自动化分布式系统
机译:用于半导体制造的等离子体浸没离子注入工艺。用于原位测量的LinearReentrant交叉场放大器,与数值模拟的比较和噪声机制的研究
机译:浸没式等离子体电极,浸没式等离子体产生装置和浸没式等离子体产生方法
机译:用于金属等离子体浸没离子注入和金属等离子体浸没离子沉积的设备和方法
机译:低压工艺等离子体浸没式离子注入机
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