光学元件高精度波前检测分析

摘要

高功率固体激光装置对大口径光学元件波前质量的要求有别于传统光学系统,要求对波前误差进行较高空间频率的测量.本文探讨了大口径光学元件波前的高空间分辨率检测技术,采用大口径相移干涉仪作为波前检测仪器,通过对付立叶变换获得波前一维PSD分布,采用位相比较的方法校准了检测系统的空间频率传递函数.并就高空分辨率波前检测技术实现的关键技术环节进行了分析.