レーザ超音波検出の高精度化－新型波面補償素子による検出感度の向上

摘要

レーザ超音波探傷では超音波の発生と検出をレーザ光によって行う。 ここで、最も大きな問題は超音波の検出にある。超音波が伝搬すると物体表面には微小な振動（およそ0.1～10nm）が生じる。 この振動する領域にレーザ光を照射すると、反射光の位相は振動に応じて変調されるので、干渉計測を行うと光の強弱信号として超音波の振動を検出できることになる。ところが、大気の揺らぎや対象物表面（粗面）での散乱により反射光の波面が乱れ、これにより干渉討測は困難になる。