用辉光放电等离子体氧化法合成TiO<,1+x>生物陶瓷

摘要

Ti-O膜或TiO<,1+x>膜是一种生物相容性很好的生物陶瓷材料.本文提出了合成该类陶瓷材料的1种新方法即辉光放电等离子体氧化法.并对离子轰击现象以及工艺参数对钛氧化层结构的影响做初步的探讨.结果表明,氧化膜厚度与氧分压、温度和时间呈明显对应关系.特别是,在空心阴极辉光放电条件下,离子轰击加强氧的离化、促进渗氧、有助于低价态氧化物的形成.