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纳米压痕法测量PZT压电薄膜的界面强度

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用sol-gel法制备了锆钛酸铅Pb(Zr<,0.52>Ti<0.48>)O<,3>(PZT)压电薄膜,用纳米压痕技术测量PTZ压电薄膜的界面强度.考虑压电效应对薄膜界面强度.考虑压电效应对薄膜界面强度的影响,提出弹性地基梁模型.将采用该模型测量的PZT薄膜界面强度与未考虑薄膜压电性的压痕法和划痕法的测量结果进行比较,得出其压电效应会降低PZT薄膜的界面强度.

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来源
《第12届全国高技术陶瓷学术年会》|2002年|367-370|共4页
会议地点佛山
作者
郑学军; 周益春;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM221;
关键词
压电薄膜; 纳米压痕法; 弹性地基梁; 界面强度;

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