TiO<,2>纳米薄膜在Al<,2>O<,3>基片上的形成与生长

摘要

以Ti(Bu)<,4>为原料,采用溶胶-凝胶法在Al<,2>O<,3>基片上制备TiO<,2>纳米薄膜.考察了不同溶胶浓度和基片表面形貌对膜结构及TiO<,2>晶粒形貌的影响.结果表明:采用较低浓度的溶胶逐层热处理,将通过种子层对薄晶粒成核与生长的影响,得到晶粒细小、均匀、无开裂的TiO<,2>纳米薄膜,且薄膜与基片的结合紧密.而较高浓度的溶胶采用相同工艺得到的薄膜中,TiO<,2>晶粒较大且不均匀.晶粒与晶粒、晶粒于基征间的结合松散.粗糙的基征表面导致膜表面缺陷,在凹陷处易产生裂纹.由于表面形态对晶粒成核与生长的影响,在基片晶粒交界处,膜晶粒生长良好.