首页> 中文会议>第11届全国核电子学与核探测技术学术年会 >栅氧层厚度与CMOS运算放大器电离辐射效应的关系

栅氧层厚度与CMOS运算放大器电离辐射效应的关系

摘要

介绍了分别在干氧和氢氧合成两种不同工艺及不同栅氧层厚度情况下,CMOS运算放大器电路的电离辐照响应规律.并通过对其单管特性及内部单元电路辐照变化的分析比较,探讨了栅氧层厚度的变化与运放电路辐照损伤之间的相互依赖关系.结果显示,适当地减薄栅氧层厚度,可相应地减少辐照感生氧化物电荷和界面态引起的跨导衰减,从而使CMOS运放电路的抗辐射特性得到明显的改善.

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