首页> 中文会议>第二届全国纳米技术与应用学术会议 >硅微机械平面电感的衬底效应

硅微机械平面电感的衬底效应

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

提出了一种品质因数(Q)的计算方法,分析了对于平面螺旋电感Q值产生决定性影响的各种因素.在微机械电感传统模型的基础上对涡流效应产生的寄生电阻和有损衬底电容进行了细致的研究,并且得到了理论结果.研究结果表明,Q值的大小与几何参数和工作频率均有关.通过理论分析和计算,可以得到结构优化的方法.

著录项

来源
《第二届全国纳米技术与应用学术会议》|2002年|175-178|共4页
会议地点宁波
作者
董颖; 刘泽文; 丁勇;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电感器、线圈、扼流圈;数字集成电路、逻辑集成电路;
关键词
微机械; 电感; 硅衬底; 涡流效应; 寄生效应; 集成电路;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 硅微机械平面电感的衬底效应 [J] . 董颖 ,刘泽文 ,丁勇 . 半导体学报 . 2003,第B05期
2. 适用于高品质射频集成电感的多孔硅新型衬底制备技术 [J] . 周毅 ,杨利 ,张国艳 . 半导体学报：英文版 . 2005,第6期
3. 新颖的衬底pn结隔离型硅射频集成电感(英文) [J] . 刘畅 ,陈学良 ,严金龙 . 半导体学报：英文版 . 2001,第12期
4. 基于柔性衬底的平面螺旋电感的计算与仿真 [J] . 乔照洋 . 舰船电子对抗 . 2021,第001期
5. 基于SOI衬底的平面集成电感的特性与分析 [C] . 赵冬燕 ,张国艳 ,黄如 . 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会 . 2003
6. 激光微熔覆技术制备平面微电感的研究 [A] . 代青龙 . 2007

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号