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一种新型的α-Al<,2>O<,3>绝对湿度传感器

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氧化铝湿度传感器是目前露点测量中最为常见的一种湿度传感器.经改进后的α-Al<,2>O<,3>作湿敏层的湿度传感器,与早期的相比具有较宽的线性范围、较小的惰性和较小的温度系数.

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来源
《2002年全国湿度、水分、气体学术交流会》|2002年|13-1437|共3页
会议地点嘉峪关
作者
曹佩韦; 张池军; 史青; 金懋昌;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
α相三氧化二铝(α-Al,2O,3); 湿度传感器; 湿敏元件; 湿敏层;

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