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基于MEMS技术的温湿度集成传感器设计

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摘要

温度、湿度传感器是两个常用的器件,在工农业自动化、环境检测等方面有着广泛的应用.本文回顾了几种微型湿度传感器的研究,应用MEMS技术进行了集成温湿度传感器的设计和制作.MEMS集成传感器具有体积小,一致性好,可批量生产等优点.湿度测量原理采用绝对湿度测量值,器件的稳定性大大提高,响应快,湿度测量范围宽.

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来源
《2002年全国湿度、水分、气体学术交流会》|2002年|10-12|共3页
会议地点嘉峪关
作者
赵湛; 史晓希; 张博军;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;TP271.4;
关键词
MEMS技术; 集成传感器; 温湿度; 微电子机械系统;

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