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高温压力传感器技术研究

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本文提出的基于MEMS技术的耐高温压力传感器,采用耐高温SIN力敏元件以及梁膜组合设计,保证传感器有较高频响的同时,具有耐平衡高温和瞬时超高温的能力.研制的耐高温压力传感器可以用于0~220℃恶劣环境条件下的压力测量,并能解决1000℃的瞬时冲击.文中给出了传感器的结构模型和实测数据,得到比较满意结果.

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来源
《第五届海内外青年设计与制造科学会议》|2002年|6-8|共3页
会议地点大连
作者
赵玉龙; 赵立波; 蒋庄德;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
压力传感器; 梁膜组合设计; 瞬时冲击;

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