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氧化锆纳米涂层的制备及其电学性能研究

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采用大气等离子喷涂技术(APS)制备氧化锆纳米涂层.运用SEM、TEM与XRD等分析手段对涂层的显微结构特点、物相组成进行了观察和确定.发现涂层由四方相氧化锆组成.涂层晶粒为等轴晶,堆积紧密,晶界清晰.晶粒具有两种显微结构,以尺寸分布在30-120 nm之间的颗粒为主,另一种为150-300 nm的大尺寸晶粒.在成功制备出氧化锆纳米涂层的基础上,测量了涂层的电学性能,结果表明氧化锆纳米涂层具有较大的电阻率和较高的介电强度.

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来源
《2002年西部地区纳米技术与应用研讨会》|2002年|133-138|共6页
会议地点西安
作者
陈煌; 丁传贤;
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作者单位

中国电子学会;

陕西省电子学会;

甘肃省电子学会;

新疆电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类喷镀法;特种结构材料;
关键词
等离子喷涂; 氧化锆涂层; 纳米结构; 电阻率; 介电强度; 电学性能;
入库时间 2022-08-17 10:13:05

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