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磁控溅射法制备SiC(f)/Ti基复合材料先驱丝

摘要

采用磁控溅射法制备SiC(f)/Ti-6Al-4V先驱丝.镀层厚度均匀,表面层为直径1~2μm的瘤状凸起.镀层结构为多晶α-Ti.镀层的成分均匀,和靶材的成分基本一致.镀层和纤维之间没有发生化学反应,溅射过程对纤维的性能没有显著不利影响.

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