预载电压对力平衡式微硅加速度计性能的影响

摘要

在实验中发现,力平衡式加速度计的施力电压变化范围和传统计算中的并不相同.为研究预载电压对加速度计性能指标的影响,重新推导了力发生器的传递函数和静电负刚度等参数的表达式.对参数的分析显示,预载电压直接影响了加速度计的标度因数、量程和分辨率,但是不影响非线性度.在综合各种影响的基础上,提出了根据不同应用的要求选取预载电压的方法,并进行了实验验证.