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微机械梳齿式加速度计结构设计的系统考虑

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本文以梳齿式微机械加速度计为例,概括性地阐述了电容式微加速度敏感表头的设计思路及方法.提出系统设计的思想,归纳了结构设计中的主要制约因素,并分析了现有技术条件下电容式微机械加速度计的性能潜力.

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来源
《2003年惯性仪表与元件学术交流会》|2003年|83-91|共9页
会议地点辽宁丹东
作者
刘云峰; 董景新;
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作者单位

中国惯性技术学会;

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 V241.45;
关键词
微电容检测; 微加速度计; 微结构设计方法;

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