一种利用光电极值法监控非规整膜系的新方法

摘要

本文利用光电极值法对规整膜系的膜厚进行监控的方法已经得到了成功的应用.但是该方法对非规整膜系的监控却受到了一定的局限.本文提出了一种利用光电极值法监控非规整膜系的新方法.通过在临控光波长范围内搜索,找到了待求的非规整膜系每一层的监控波长,即λ0i,以λ0i为监控波长实现非规整膜系的监控.并将整个监控过程进行了计算机模拟.最后,对所得结果进行了误差分析,分析了其可行性.