水热法制备锡掺杂氧化钛薄膜工艺因素研究

摘要

以Ti(SO<,4>)<,2>为前驱物,尿素为沉淀剂,SnCl<,4>为掺杂剂,采用水热法制备出Sn-TiO<,2>薄膜.利用XRD、SEM和UV-VIS等测试手段对薄膜的物相、表面形貌和吸光性等进行了表征.研究了Ti(SO<,4>)<,2>的浓度、SnCl<,4>的掺入量、水热反应温度和保温时间对制备Sn-TiO<,2>薄膜的影响.结果表明,在一定工艺条件下,可制备出均匀、致密,无可视缺陷厚度约160nm的Sn-TiO<,2>薄膜.