双指场效应晶体管热电特性

摘要

传统的宏观传热理论难以准确表征几何结构尺度小于或接近声子平均自由程的高功率电子器件的产热与传热过程,此时器件的能量激发的时间尺度与声子的特征时间尺度相当,甚至小于声子的特征时间尺度,不能满足传统传热理论的假设.本文针对微/纳尺度场效应晶体管的工作过程,建立描述其内部产热及传热特性的非平衡能量方程模型,通过计算单指砷化镓FET(FieldEffect transistor) 和双指砷化镓FET热电特性,发现单指器件与双指器件存在一定的差异.此外,双指器件为例,计算了衬底温度以及工作条件对其器件最高温度的影响.