微机电系统运动参数频闪微视觉测试技术

摘要

实现对MEMS多维运动参数的测试,为MEMS运动参数提供有效的评价手段为目的从理论和技术两方面研究了频闪测量和微视觉检测的融合技术,MEMS系统运动特征和参数的测量原理及系统实现方法.讨论了与频闪照明相位同步的计算机微视觉检测系统的软硬件,主要包括:频闪系统、频闪照明控制、体视光学系统、立体视觉的视频数据采集、水平和垂直运动参数获取的数学表达摸型等.频闪微视觉测试技术和测试系统的研制将为目前的MEMS领域提供有效的检测与评价手段,具有广阔的应用前景.