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空穴注入型CuPc二氧化氮气体传感器研究

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讨论了一种新型的基于空穴注入效应的电导型CuPc薄膜二氧化氮气体传感器,其器件结构为:采用溅射工艺的ITO(InO、ZnO)作下电极,真空蒸发CuPc薄膜作为敏感功能层,上电极为AL叉指电极.这种CuPc传感器与传统的AlO<,3>/CuPc/Al相比,电阻下降了3~4个数量级.同时讨论了该传感器的敏感特性.

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来源
《第七届"测量与控制在资源节约、环境保护中的应用"学术会议》|2003年|177-178|共2页
会议地点沈阳
作者
王涛; 蒋亚东; 黄春华;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;
关键词
酞菁铜; 氧化铟锡; 空穴注入; 敏感特性; 气体传感器;

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