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向鹏; 金春水; 曹健林;
中国物理学会;
中国核学会;
极紫外多层膜; 残余应力;
机译:多层涂层的性能与金属层的微观结构有关。 Mo / Si多层膜在极紫外和X射线范围内的表征和光学性质
机译:过滤阴极真空电弧沉积制备多层类金刚石碳膜残余应力的数值和实验研究
机译:Au / Ni多层膜中残余应力的研究
机译:减少和补偿用于极紫外光刻的高反射多层膜中膜应力的研究进展
机译:磁性多层膜的超快动力学:极紫外和软X射线光谱区域中的磁光光谱和共振散射
机译:4H-SiC衬底上4H-SiC圆形膜的杨氏模量和残余应力的研究
机译:B4C / CeO2多层膜在6.x nm极紫外波长下的沉积和表征
机译:基于铍的多层膜用于垂直入射的极紫外反射
机译:极紫外曝光用掩模,极紫外曝光用掩模坯料,极紫外曝光用掩模的制造方式以及多层膜
机译:在三维模型中研究生物膜的位置的初步研究方法,涉及设置低频隔膜的可编程模型参数集的顺序
机译:平面印版-带有可激光打磨的可成像多层膜的初步设计,该多层膜具有光学腔
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