HgCdTe液相外延薄膜红外透射谱分析

摘要

Hg<,1-x>Cd<,x>Te薄膜是研制红外探测器的重要材料.液相外延方法生长的Hg<,1-x>Cd<,x>Te材料通常存在纵向的组分不均匀性.本文用红外透射谱和均匀腐蚀的方法,测量了同一液相外延薄膜在不同层厚时的红外透射光谱.采用导纳矩阵的理论,对红外透射谱的实验结果进行了细致的拟合,综合考虑了外延层的干涉效应以及衬底对透射光强的影响.实验和数值分析结果表明,样品在靠近衬底的两微米范围内存在一个组分急剧变化的梯度区,从梯度区边界到样品表面组分变化缓慢,并以此建立了一个组分纵向分布的模型.采用这一模型,可以较好地描述Hg<,1-x>Cd<,x>Te液相外延薄膜的红外透射谱以及组分纵向分布的不均匀性.