关于SOI(SIMOX)材料在注入过程中粒子污染的研究

摘要

本文阐述了注氧机在制作SOI(SIMOX)材料时，注入过程对顶层硅中产生粒子污染的影响，结合SIMS测试结果，从光路结构、电器参数、靶室等方面阐述粒子污染的机理，并提出了相应的解决措施。