硅基RF MEMS分布式移相器频率特性的模拟分析与设计实现

摘要

频率特性是移相器设计中需要考虑的重要参数之一.在RF MEMS分布式移相器中,由于周期结构的引入,产生了工作上限截止频率即Bragg频率.本文详细讨论了Bragg频率产生的原因及其分析方法,用Agilent ADS软件对RF MEMS分布式移相器进行了S参数仿真,研究了不同结构参数对Bragg频率的影响,为移相器结构的优化设计提供了重要依据.依据模拟结果制备了Ka波段的试验样品,获得了较好的工作特性.