声表面波器件用压电晶体的生长研究

摘要

声表面波(SAW)器件主要是利用Rayleigh波在固体材料表面传播而设计的一类电子元器件,随着移动通讯产业的迅速发展,SAW器件不仅有向高频、低损耗、小型化方向发展的趋势,而且要求不断降低成本.这就意味着对SAW器件用压电单晶基片的要求越来越高.目前SAW器件用压电单晶材料主要有水晶、铌酸锂、钽酸锂、四硼酸锂等.本文报道了我们在声表面波器件用压电晶体方面的最新研究成果.